Propiedades eléctricas de nano-multicapas de Cr/CrN producidas por la técnica de sputtering con magnétrón desbalanceado / Electrical properties of Cr/CrN nano-multilayers produced by the unbalanced magnetron sputtering technique

Películas de nitruro de cromo (CrN) se han aplicado como recubrimientos protectores contra el desgaste y la corrosión debido a sus excelentes propiedades mecánicas y alta resistencia a la corrosión, y en el campo electrónico debido a su baja resistividad. Sin embargo, se ha encontrado que las multic...

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Autores:

Marulanda Cardona, Diana Maritza
Olaya Flórez, Jhon Jairo

Tipo de recurso:

Article of journal

Fecha de publicación:

2011

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.unal.edu.co:unal/8758

Acceso en línea:

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/8758
http://bdigital.unal.edu.co/5446/

Palabra clave:

62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Multicapas
Sputtering con magnetrón desbalanceado
UBM, Cr/CrN
Resistividad / Multilayers
Unbalanced magnetron sputtering
UBM
Cr/CrN
Resistivity

Rights

openAccess

License

Atribución-NoComercial 4.0 Internacional