Deposición y caracterización de las propiedades de recubrimientos de TaN depositados con diferentes contenidos de nitrógeno

RESUMEN: Este trabajo se enfocó en el estudio de la influencia del contenido de nitrógeno sobre la microestructura, composición química, propiedades mecánicas y tribológicas de los recubrimientos de TaN depositados sobre acero inoxidable 420 y silicio (100) mediante la pulverización catódica. Los re...

Full description

Autores:

Echavarría García, Aida Milena
Quirama Ossa, Alix Caterine
Osorio Vélez, Jaime Alberto

Tipo de recurso:

Article of investigation

Fecha de publicación:

2016

Institución:

Universidad de Antioquia

Repositorio:

Repositorio UdeA

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:bibliotecadigital.udea.edu.co:10495/9804

Acceso en línea:

http://hdl.handle.net/10495/9804

Palabra clave:

Recubrimientos de TaN
Composición química
Propiedades mecánicas
Propiedades tribológicas
Nitrógeno
Nitrogen
Magnetron sputtering
Tantalum nitride

Rights

openAccess

License

https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/