Evaluación de la influencia del voltaje bias sobre la resistencia a la corrosión de películas delgadas de AlNbN

RESUMEN: Se depositaron películas delgadas de Nitruro de Niobio (NbN) y Nitruro de Niobio Aluminio (AlNbN) sobre sustratos de silicio (100) y de acero AISI 4140 mediante un sistema multiblanco magnetrón sputtering con r.f. (13.56 MHz), a partir de blancos de Nb y de Al de alta pureza (99.99%) en una...

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Autores:

Caicedo Angulo, Julio César
Amaya Hoyos, César Andrés
Moreno Chávez, Henry
Aperador Chaparro, William Arnulfo
Tirado Mejía, Liliana
Bejarano Gaitán, Gilberto

Tipo de recurso:

Article of investigation

Fecha de publicación:

2010

Institución:

Universidad de Antioquia

Repositorio:

Repositorio UdeA

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:bibliotecadigital.udea.edu.co:10495/7592

Acceso en línea:

http://hdl.handle.net/10495/7592

Palabra clave:

Corrosión
Electroquímica
Magnetrón sputtering
Nitruro de niobio

Rights

openAccess

License

https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/