Desarrollo de un recubrimiento de media entropía (titazrnb)nx fabricado mediante pulverización catódica.

RESUMEN : Se depositaron recubrimientos de mediana entropía de (TiTaZrNb)Nx sobre sustratos de acero y obleas de silicio (100) usando pulverización catódica con magnetron con variación del flujo de nitrógeno (9sccm a 21 sccm) y de la presión de trabajo (0,2 Pa y 0,4 Pa). La tasa de pulverización fue...

Full description

Autores:

Chimá Arroyo, Daniela María

Tipo de recurso:

Trabajo de grado de pregrado

Fecha de publicación:

2023

Institución:

Universidad de Antioquia

Repositorio:

Repositorio UdeA

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:bibliotecadigital.udea.edu.co:10495/35539

Acceso en línea:

https://hdl.handle.net/10495/35539

Palabra clave:

Pulverización catodica (Metalización)
Cathode sputtering (plating process)
Nitruros
Entropía
Entropy
Aleaciones
Alloys
http://aims.fao.org/aos/agrovoc/c_1fc62594
http://aims.fao.org/aos/agrovoc/c_295

Rights

embargoedAccess

License

https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/