Evolución del tamaño de cristalito y la Microdeformación en películas Delgadas de TiN

El presente trabajo estudia el tamaño del cristalito y la microdeformación a lo largo del espesor de películas delgadas de Nitruro de Titanio (TiN) crecidas por la técnica PAPVD por arco pulsado en un sistema de deposición no comercial sobre sustrato de acero inoxidable 316. Para películas...

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Autores:
Tipo de recurso:
Article of journal
Fecha de publicación:
2019
Institución:
Universidad Católica de Pereira
Repositorio:
Repositorio Institucional - RIBUC
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.ucp.edu.co:10785/13536
Acceso en línea:
https://revistas.ucp.edu.co/index.php/entrecienciaeingenieria/article/view/698
http://hdl.handle.net/10785/13536
Palabra clave:
Rights
openAccess
License
Derechos de autor 2019 Entre Ciencia e Ingeniería