Performance characterization of an xy-stage applied to micrometric laser direct writing lithography
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- Autores:
-
Jaramillo J.
Zarzycki A.
Galeano J.
Sandoz P.
- Tipo de recurso:
- Fecha de publicación:
- 2017
- Institución:
- Instituto Tecnológico Metropolitano
- Repositorio:
- Repositorio ITM
- Idioma:
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.itm.edu.co:20.500.12622/3479
- Acceso en línea:
- http://hdl.handle.net/20.500.12622/3479
- Palabra clave:
- Rights
- License
- http://purl.org/coar/access_right/c_14cb