Diseño y construcción de un reactor mecatrónico para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión

RESUMEN: Se presenta el diseño y construcción de un sistema mecatrónico automatizado para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión. El sistema consta de un porta sustrato que realiza desplazamientos verticales entre dos posiciones ajustables. El movimiento d...

Full description

Autores:
Urquijo Morales, Jeaneth Patricia
Velásquez, A. A.
Gutiérrez, Y.
Tipo de recurso:
Article of investigation
Fecha de publicación:
2014
Institución:
Universidad de Antioquia
Repositorio:
Repositorio UdeA
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:bibliotecadigital.udea.edu.co:10495/39819
Acceso en línea:
https://hdl.handle.net/10495/39819
Palabra clave:
Automatización
Automation
Películas delgadas
Thin films
Mecatrónica
Mechatronics
Reactor de recubrimiento por inmersión
Rights
openAccess
License
https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/