Fabricación de Microestructuras
Uno de los desafíos de la educación en microelectrónica es transmitir a los estudiantes los pasos básicos para la fabricación de dispositivos electrónicos. En este artículo se explica cómo el prototipado rápido de bobinas planas combina fabricación a partir de foto-máscaras, fotolitografía y grabado...
- Autores:
- Tipo de recurso:
- Article of journal
- Fecha de publicación:
- 2019
- Institución:
- Universidad Católica de Pereira
- Repositorio:
- Repositorio Institucional - RIBUC
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- OAI Identifier:
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- Acceso en línea:
- https://revistas.ucp.edu.co/index.php/entrecienciaeingenieria/article/view/645
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- Palabra clave:
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- Derechos de autor 2019 Entre Ciencia e Ingeniería
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2023-08-29T03:49:10Z2023-08-29T03:49:10Z2019-07-27https://revistas.ucp.edu.co/index.php/entrecienciaeingenieria/article/view/645http://hdl.handle.net/10785/13494Uno de los desafíos de la educación en microelectrónica es transmitir a los estudiantes los pasos básicos para la fabricación de dispositivos electrónicos. En este artículo se explica cómo el prototipado rápido de bobinas planas combina fabricación a partir de foto-máscaras, fotolitografía y grabado húmedo, y cómo puede ser utilizado para la formación a nivel de pregrado. Las foto-máscaras tienen bajos costos y se generan con diseños e impresión de patrones helicoidales diseñados usando Inkscape y Adobe InDesign, calcando en un papel fotográfico KODAK y haciendo uso de una cámara reductora DeVere. Tres parámetros son analizados para la transferencia de las geometrías en la fotomáscara y sobre un sustrato de Aluminio: factor de reducción de la cámara,el tamaño de grano del papel Kodak y la calidad de la fotoimpresora de inyección. La fabricación de bobinas de aluminio submicrométricas se logra con la optimización de estos parámetros. La experiencia práctica en la fabricación del dispositivo afecta la capacidad de los estudiantes para comprender las interacciones entre la máscara, fabricación y diseño de dispositivos.One of the education challenges in microelectronics is to convey students the basic steps for electronic devices fabrication. This article introduces how rapid rototyping of planar coils combines photo-mask fabrication, photolithography and wet etching, and how it can be used for training at the undergraduate level. Low cost photo-masks are generated using printing master layouts of coil patterns designed with Inkscape and Adobe InDesign and transferred onto a photographic KODAK paper using a DeVere reduction copy camera. Three parameters are analyzed for transferring the layout onto the photomask and then onto an Al substrate: the camera’s reduction factor, the grain size of the Kodak paper and the quality of the InkJet photo-printer. Fabrication of submicron aluminum coils is achieved with optimization of these parameters. The hands-on experience on device fabrication impacts the students’ ability to comprehendinteractions between mask designs, fabrication and devices layout.application/pdfspaUniversidad Católica de Pereirahttps://revistas.ucp.edu.co/index.php/entrecienciaeingenieria/article/view/645/652Derechos de autor 2019 Entre Ciencia e Ingenieríahttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/deed.es_EShttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/deed.es_ESinfo:eu-repo/semantics/openAccesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Entre ciencia e ingeniería; Vol 6 No 12 (2012); 14-18Entre Ciencia e Ingeniería; Vol. 6 Núm. 12 (2012); 14-18Entre ciencia e ingeniería; v. 6 n. 12 (2012); 14-182539-41691909-8367Fabricación de MicroestructurasFabrication Of MicrostructuresArtículo de revistahttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionRodríguez P., DarwinGodoy, AlejandroBonilla, RuyAvila B, Alba GPublication10785/13494oai:repositorio.ucp.edu.co:10785/134942025-01-27 18:58:32.837https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/deed.es_ESDerechos de autor 2019 Entre Ciencia e Ingenieríametadata.onlyhttps://repositorio.ucp.edu.coRepositorio Institucional de la Universidad Católica de Pereira - RIBUCbdigital@metabiblioteca.com |
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