Fabricación de Microestructuras

Uno de los desafíos de la educación en microelectrónica es transmitir a los estudiantes los pasos básicos para la fabricación de dispositivos electrónicos. En este artículo se explica cómo el prototipado rápido de bobinas planas combina fabricación a partir de foto-máscaras, fotolitografía y grabado húmedo, y cómo puede ser utilizado para la formación a nivel de pregrado. Las foto-máscaras tienen bajos costos y se generan con diseños e impresión de patrones helicoidales diseñados usando Inkscape y Adobe InDesign, calcando en un papel fotográfico KODAK y haciendo uso de una cámara reductora DeVere. Tres parámetros son analizados para la transferencia de las geometrías en la fotomáscara y sobre un sustrato de Aluminio: factor de reducción de la cámara,el tamaño de grano del papel Kodak y la calidad de la fotoimpresora de inyección. La fabricación de bobinas de aluminio submicrométricas se logra con la optimización de estos parámetros. La experiencia práctica en la fabricación del dispositivo afecta la capacidad de los estudiantes para comprender las interacciones entre la máscara, fabricación y diseño de dispositivos.

• Tipo de recurso: Article of journal
• Fecha de publicación: 2019
• Institución: Universidad Católica de Pereira
• Repositorio: Repositorio Institucional - RIBUC
• Idioma: spa
• OAI Identifier: oai:repositorio.ucp.edu.co:10785/9842
• Acceso en línea: https://revistas.ucp.edu.co/index.php/entrecienciaeingenieria/article/view/645; http://hdl.handle.net/10785/9842
• Rights: openAccess
• License: Derechos de autor 2019 Entre Ciencia e Ingeniería