An optical diffuse reflectance model for the characterization of a si wafer with an evaporated SiO2 layer

892

Autores:
Zarzycki A.
Galeano J.
Bargiel S.
Andrieux A.
Gorecki C.
Tipo de recurso:
Fecha de publicación:
2019
Institución:
Instituto Tecnológico Metropolitano
Repositorio:
Repositorio ITM
Idioma:
OAI Identifier:
oai:repositorio.itm.edu.co:20.500.12622/3173
Acceso en línea:
http://hdl.handle.net/20.500.12622/3173
Palabra clave:
Rights
License
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
Description
Summary:892