Micro fabricación y caracterización de un sensor físico para la detección de Hg_(2+) :estudio de la interacción superficial entre oro y Hg_(2+) en láminas delgadas contínuas depositadas por técnica de evaporación térmica (2018)
Se expone el procedimiento para la determinación del proceso de interacción entre una muestra de oro (Au) laminar continuo, manufacturado mediante la técnica de evaporación térmica sobre vidrio borosilicato, y una oblea de silicio intrínseca 001 de la casa WRS materials; expuesto ante diferentes conentaciones de Hg_(2+) diluido en agua desionizada milli-Q, en un rango de 2 a 80 ug/L. Se generaron diferentes lotes de muestras de Au depositado sobre vidrio borosilicato con espesores nominales de 50 y 30 nm, ligados con 5 nm de cromo (Cr) al sustrato, y 30 nm sobre la oblea de silicio. Se desarrolló un método de exposición de las muestras a las diferentes conentaciones de Hg_(2+) cuantificando la variación existente en las características resistivas de la muestra, evaluado mediante la medición de la resistencia laminar superficial por la técnica de 4, y las variaciones morfológicas superficiales, determinadas mediante el uso de un microscopio de fuerza atómica (AFM) y un microscopio de barrido de electrones (SEM). Fue desarrollado un proceso de caracterización de las muestras inicial y posterior a la exposición para generar un índice de variación de las características eléctricas y morfológicas superficiales. Se hizo la medición de las muestras depositadas sobre vidrio borosilicato en la estación de 4 puntas mediante el uso del multímetro Agilent 34401A, con 6 dígitos de resolución, para la caracterización resistiva superficial de la muestra. De igual manera, se desarrolló el proceso de caracterización morfológico superficial mediante el uso del índice de rugosidad RMS, al igual que la visualización de los defectos superficiales observados mediante el uso de perfiles de la muestra, con el uso del equipo AFM. Paralelamente se desarrolló un proceso observatorio de las muestras por medio de SEM para determinar los defectos existentes en la superficie de las muestras