Producción y caracterización de monocapas de carburo de zirconio variando la temperatura del sustrato (2007)
En este trabajo se estudiaron monocapas de ZrC crecidas por la técnica PAPVD por arco pulsado, variando la temperatura del sustrato. Como material de aporte se utilizó circonio con una pureza de 99.93%. Las películas se crecieron sobre sustratos de acero inoxidable 304. Como atmósfera de trabajo se utilizó gas metano (CH4). Los recubrimientos se caracterizaron mediante difracción de rayos X para determinar la estructura cristalina, las orientaciones preferenciales, el tamaño del cristalito y la microtensión. Con XPS se tomaron espectros amplios para identificar los elementos presentes y espectros angostos para determinar los enlaces químicos, además se obtuvieron espectros angostos en función del tiempo de etching para determinar las especies químicas de la monocapa en la superficie. Se utilizó el SPM en modo AFM para medir el tamaño de grano, rugosidad raíz cuadrática media (Rrms) y espesor de las películas (Texto tomado de la fuente)