Producción y caracterización de multicapas de Zr/ZrN/Zr/ZrN por la técnica PAPVD (2003)
Este trabajo de investigación presenta y discute los resultados del crecimiento y caracterización de recubrimientos en películas delgadas tomando como material base el zirconio y un sustrato de acero. El crecimiento se realizó utilizando la técnica de Deposición Física de Vapor Asistida por Plasma (PAPVD), donde la evaporación del blanco se logra con una descarga de arco. Las películas crecidas son monocapas cerámicas de ZrN (nitruro de Zirconio), monocapas metálicas de Zr (zirconio), bicapas Zr/ZrN y multicapas Zr/ZrN/Zr/ZrN. Para su caracterización se utilizaron las técnicas XRD (X-Ray Diffration) en el análisis de las estructuras cristalinas, AFM (Atomic Force Microscopy) en el estudio de la mofología y el espesor, SEM (Scanning Electron Microscopy) en el análisis superficial y de perfiles, AES (Auger Electron Spectroscopy ) para determinar su composición química y pruebas aceleradas de cámara salina para analizar resistencia a la corrosión. Los resultado de la investigación muestran que las películas presentan muy buena, son homogéneas y brillantes, su estructura cristalina y textura están bien definidas aunque esta última depende fuertemente de la presión del gas utilizado en el proceso de deposición. La morfología superficial puede asociarse a un crecimiento tipo columnar característico de los procesos PVD. Se evidenció la presencia de las cuatro capas Zr/ZrN/ Zr/ZrN depositadas como hetero-estructura. Se encontró ZrN estequiométrico no obstante la presencia de elementos contaminantes en la película. Las pruebas de resistencia a la corrosión sugieren que los recubrimiento a base de Zr/ZrN ofrece nuevas posibilidades para la protección de superficies expuestas a ambientes corrosivos. (Texto tomado de la fuente)