Nanocaracterización mecánica de películas de Nitruro de Titanio (TiN) producidas por dos diferentes técnicas PAPVD. (2006)
El interés en las propiedades mecánicas de capas finas a escalas nanoscópicas ha conducido a un proceso de competencia entre dos técnicas, nanoindentación por medio de durómetro convencional y nanoindentación por técnicas SPM. La nanoindentación ha extendido sus medidas a escalas tales como los submicrómetros teniendo en cuenta que el desarrollo y análisis de dichas medidas se hacen por medio de interpretación de datos de curvas de fuerza vrs desplazamiento. Por otro lado, por medio del SPM se ha desarrollado una técnica en el modo de microscopia de fuerzas, que depende de la interacción de fuerzas entre la punta de la sonda y la superficie de la muestra. Ambos métodos de medida dependen en gran parte de la poca fuerza que ejercen las puntas que indentan las muestras y pueden, en principio ser empleadas para determinar las propiedades mecánicas de las muestras estudiadas. Por lo tanto, las cargas usadas permiten medir las propiedades mecánicas de capas finas, trabajando en un régimen entre 1 y 10nm. Con la metodología implementada en el Laboratorio de Física del Plasma se midió nanodureza y módulo de Young de superficies de recubrimientos duros, utilizando un sistema de Microscopia de Barrido por sonda (SPM) el cual trabaja con la interacción entre la punta y muestra. El desarrollo de dicha metodología se fundamentó en el trabajo con el SPM en la técnica de Microscopia de Fuerza Atómica (AFM) en el modo de espectroscopía de fuerzas. Se crecieron capas de TiN en dos sistemas PAPVD variando distintos parámetros del proceso. Se compararon los datos obtenidos por el sistema de nanodurómetro comercial y los obtenidos por medio de la técnica AFM. El análisis de los datos proporcionados por esta técnica se fundamentó en el modelo de Oliver - Pharr y Sneddon. Se determinaron las propiedades elasto-plásticas de recubrimientos duros de capa fina de TiN permitiendo comparar los resultados obtenidos por los dos sistemas de medida de nanodureza (Texto tomado de la fuente)