Evolución del tamaño de cristalito y la Microdeformación en películas Delgadas de TiN (2019)
El presente trabajo estudia el tamaño del cristalito y la microdeformación a lo largo del espesor de películas delgadas de Nitruro de Titanio (TiN) crecidas por la técnica PAPVD por arco pulsado en un sistema de deposición no comercial sobre sustrato de acero inoxidable 316. Para películas de dos espesores diferentes se tomaron difractogramas a diferentes ángulos de incidencia (a) en un rango de 2° a 6°, obteniendo perfiles de difracción a cada profundidad de penetración del haz de rayos X. A partir de los perfiles se determinaron tamaño de cristalito y microdeformación de acuerdo a un ajuste Pseudo-Voigt en el que mediante un factor de peso (η), se tiene en cuenta la contribución tanto Gaussiana como de Cauchy al perfil del pico. El tamaño del cristalito está asociado a un perfil de tipo Cauchy, mientras que la microdeformación lleva a un ensanchamiento descrito por una función Gauss. El tamaño del cristalito y la micro-deformación se estudió tanto para el plano (111) como para el (200) en función de la profundidad de la película. Los resultados muestran un comportamiento anisotrópico para ambas películas.