¿Cómo hacer máquinas microscópicas? (2012)
Este documento incluye un texto que responde la pregunta planteada en el título, un mapa de contenidos y una guía metodológica para la realización de un taller. El texto inicia definiendo máquina como un dispositivo con partes estacionarias y móviles que se combinan para generar, transformar o utilizar la energía mecánica. Por su parte, el sufijo micro se refiere a una escala, una longitud, una micra es una millonésima parte de un metro. El contenido del documento se centra en los procesos de manufactura propios de la microelectrónica, la cual requiere de dos herramientas fundamentales: la tecnología plasma y los procesos litográficos. El plasma es un estado de la materia que se encuentra en variación continúa entre gas y plasma, y tiene la capacidad de blindar los potenciales eléctricos externos en una escala de longitud Debye. El plasma permite modificar la superficie o el volumen de un material, existen diferentes tipos de reactores de plasma, el más popular es aquel formado entre 2 electrodos de placas planas paralelas unidas a una fuente de potencia. Por su parte, el proceso litográfico modifica el substrato de cilicio cristalino al grabar sobre él una determinada estructura.