Estudio de sistemas de micro y nano fabricación procesos de micro mecanizado mecánico (2015)
Una visión general de las técnicas de micromecanizado de superficie donde se describen las principales aplicaciones. La tecnología de capa de sacrificio para la fabricación de estructuras de película delgada (por ejemplo, de polisilicio) bajo el grabado lateral de una capa independiente de sacrificio subyacente (por ejemplo, dióxido de silicio) se discute en detalle. Otro enfoque tecnológico utiliza la combinación de medidas estándar de procesamiento de IC con grabado de cristal de orientación dependiente de la superficie del sustrato de silicio para la construcción de microestructuras multicapa exentas. Una tercera superficie de micromecanizado se basa en la técnica de grabado de plasma isotrópico del silicio sustrato para la realización de estructuras micromecánicas en la superficie 33 de la oblea. lA particularidad común de las estructuras micromecánicas fabricadas por ellos, tres técnicas es la viabilidad de su integración con componentes de CI en la mismo chip El estado de la técnica de microestructuras realizadas por la tecnología de capa de sacrificio se ilustra mediante varios ejemplos, tales como actuadores de peine. micromotores. interruptores, resonadores y microcavidades.